Microscope à Balayage Electronique ZEISS (FEG)

Contact :

Responsable : Ida Di-Carlo

Microscope Merlin Compact ZEISS équipé d’une colonne GEMINI I, brevet ZEISS,

  • Résolution: 0.8 nm @ 15 kV; 1.6 nm @ 1 kV
  • Tension : 20V – 30 kV.
  • Courant : 12pA-100 nA

Détecteur SE, détecteur SE pour la haute résolution (In-lens dans l’axe, intégré dans la colonne) et d’un détecteur BSD (5 quadrants).

Logiciel d’acquisition SMART SEM.

Logiciel SMART STICH pour panoramas d’images

Système de microanalyse EDS/XRF

  • détecteur EDS (sans azote) Bruker (QUANTAX  – XFlash6 – 30mm2 – résolution 129 eV) pour la microanalyse ponctuelle des éléments majeurs.
  • détecteur Micro XRF Bruker (XTRACE – Tube Rh – filtres Al, Ti, Ni) pour l’analyse des éléments à partir du Na.

Logiciel ESPRIT pour l’analyse intégrée EDS et XRF

Analyse qualitative, quantitative ;
Cartographie élémentaire et de phases

Il fait partie des Equipment PLANEX.