MEB haute résolution (FEG), pression contrôlée Détecteurs d’électrons secondaires, détecteurs d’électrons secondaires pour la haute résolution (In-Beam) et pour la pression contrôlée (LVSTD) ; Détecteur combiné électrons rétrodiffusés (scintillateur) / cathodoluminescence (350 – 650 nm) ; Détecteur STEM Dark Field / Bright Field ; Platine Peltier (+10 / -50 °C)
EDAX PEGASUS Système de microanalyse EDS / EBSD Détecteur EDS sans azote (SDD) ; Analyse qualitative, quantitative ; Cartographie élémentaire et de phases ; Analyse automatique de particules ; Caméra EBSD haute résolution ; Analyse couplée EDS / EBSD
RENISHAW In-Via Spectromètre Raman et couplage MEB-Raman 3 lasers : 514, 632 et 785 nm ; Objectifs x5 à x100 et 50 LW ; Cartographie Raman et imagerie rapide Streamline ; Platine Peltier -196 / + 600°C ; Interface de couplage MEB-Raman pour acquisition Raman dans le MEB