Contact :
Responsable: Patricia Benoist
- Système de pompage intégré, y compris pompe turbo moléculaire haute capacité et haute vitesse
- Pompe à palettes.
- Double tête d’évaporation pour crayons de carbone de type dual Bradley de diamètre 6.2 mm
- Chambre métallique (diamètre 300 mm et hauteur 200 mm), entièrement en acier inoxydable
- Moniteur d’épaisseur à microbalance à quartz